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真空泵的用途及適用的工藝類(lèi)型
真空泵的用途
根據真空泵的性能,在各種應用的真空系統中它可承擔如下一些工作。
(1)主泵。在真空系統中,用來(lái)獲得所要求的真空度的真空泵。
(2)粗抽泵。從大氣壓開(kāi)始,降低系統的壓力達到另一抽氣系統開(kāi)始工作的真空泵。
(3)前級泵。用以使另一個(gè)泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。
前級泵也可以做粗抽泵使用。
(4)維持泵。在真空系統中,當抽氣量很小時(shí),不能有效的利用主要前級泵,為此,在
真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵,維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之
低壓的真空泵。
(5)粗(低)真空泵。從大氣壓開(kāi)始,降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
(6)高真空泵。在高真空范圍內工作的真空泵。
(7)超高真空泵。在超高真空范圍內工作的真空泵。
(8)增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間,用來(lái)提高抽氣系統在中間壓力范圍內的抽
氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。
2 各類(lèi)真空泵適用的工藝類(lèi)型
(1)水環(huán)真空泵。適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空
儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。
(2)往復真空泵。適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空造型、真空
干燥、鋼液真空處理等工藝。往復真空泵與水環(huán)真空泵使用的工藝基本相同。但是,往復真
空泵不能直接抽水蒸氣,需要抽水蒸氣時(shí)一定要配備冷阱,采用制冷壓縮機系統冷卻。
(3)油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)。適用于真空蒸餾、真空干燥、
真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中使用。當前,
旋片式油封機械真空泵,做為直排大氣的前級泵,使用的量大面廣。
(4)羅茨真空泵(機械增壓泵)。適用于真空燒結、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、
真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝中使用。絕大多數羅茨泵都不能用于直排大氣,需要
配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣,主要用于造紙工業(yè)中。
(5)油增壓泵。適用于真空冶煉、真空燒結、真空釬焊、真空熱處理等工藝中使用。它
與機械增壓泵相類(lèi)似,不能直排大氣,必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵。
(6)油擴散泵。適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、電子真空器件、
真空分析儀器、真空檢漏儀、宇宙空間真空模擬裝置、加速器真空系統等工藝中使用。它適
合于抽取高真空使用,本身不能直排大氣,必須配備前級真空泵。
(7)干泵(包括螺桿泵、渦旋泵和爪形泵)。適用于無(wú)油清潔的真空工藝過(guò)程,例如半
導體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝使用,這幾種泵都能直排大氣。
(8)吸附泵。適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器以及各種要求
清潔無(wú)油的真空系統中使用。
(9)鈦泵(包括濺射離子泵、升華泵)。適用于真空鍍膜、大規模集成電路、表面物理
和表面化學(xué)、熱核物理、等離子體物理和超導技術(shù)等工作中使用。
(10)分子泵。適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學(xué)、等離子體物理、光
學(xué)儀器、熱核反應和宇航技術(shù)工作中使用。
(11)水噴射泵。適合于真空導料、真空輸送、輕工、化工、化纖、制藥、涂料、油脂、
造紙、燒堿、制糖、食品、制磚和真空除氧等工業(yè)領(lǐng)域中使用。
(12)水蒸氣噴射泵。適合于真空冶燒、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥和真空回潮等
工藝中使用。
(13)低溫泵。適合于真空鍍膜、表面物理、超導技術(shù)和宇航技術(shù)等工作中使用。
